美國布魯克斯Brooks Instruments熱質量流量控制器GF80 / GF81特點應用

美國布魯克斯Brooks Instruments熱質量流量控制器GF80 / GF81特點應用
GF80系列采用金屬密封的熱質量流量控制器和儀表提出了在價值驅動的金屬密封應用的性能標準。
對于許多工業(yè)和半導體工藝，性能和成本效率是至關重要的。該GF80系列金屬密封質量流量控制器和儀表提供兩種：使用相同的快速響應傳感器和專利的第四代MultiFlo?技術作為我們最暢銷的GF100系列工程，它是，在一個價值的價格點需要高性能運算的正確選擇。移動到密封的MFC的金屬帶來MultiFloTM多氣體/多范圍能力的全部優(yōu)點，因為有在氣體沒有限制，可以使用的，氣體的，由于通過彈性體透氧消除增強純度，并在還原因為金屬密封件的維修將持續(xù)下去。

特點
每年<±0.5％滿量程長期零點穩(wěn)定性
<1秒的穩(wěn)定時間
滿量程流量可達300 SLPM
全金屬密封流動路徑 - 16μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏傳感器可以在較低溫度下為氣體容易發(fā)生熱分解操作
可編程MultiFloTM能力酮裝置，數(shù)千氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線除去MFC或影響精度
通過積極的溫度補償很佳的的溫度系數(shù)規(guī)格
嵌入式自測程序和獨立的診斷/服務端口
超薄機身采用VCR接頭
DeviceNetTM，PROFIBUS®，RS-485和模擬接口
優(yōu)點
快速<1秒流量穩(wěn)定時間浪費消除氣體和工藝可變性
沒有彈性體密封，可以有透氧，需要更換隨著時間的推移
MultiFloTM簡化和優(yōu)化改變工藝氣體 - 沒有更多的拆除和微生物燃料電池校準
新的氣體和/或范圍可以在60秒內設置在
測量精度不受溫度變化
方便地訪問診斷端口最大正常運行時間
緊湊的尺寸簡化融入緊機位;為改造選擇
多協(xié)議通信接口簡化集成到現(xiàn)有系統(tǒng)
應用
高性價比改造/翻新中的半導體工藝工具遺留的MFC升級
減少六英寸/八英寸晶圓廠半導體庫存MFC
MOCVD的LED和功率器件制造
太陽能/薄膜化學氣相沉積（CVD）系統(tǒng)的
分析OEM設備
美國布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。
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