美國布魯克斯Brooks Instruments流量控制器5850EM系列簡要

美國布魯克斯Brooks Instruments流量控制器5850EM系列簡要
5850EM系列采用金屬密封的熱質量流量控制器成熟的長期穩(wěn)定性。超純性能高壓應用。
型號5850EM / 5851EM
5850EM系列金屬封閉質量流量控制器測量和控制高壓氣體在超潔凈的環(huán)境中，內置上廣泛使用的5850E＆i系列微生物燃料電池性能的系統(tǒng)穩(wěn)定性的流動。它的金屬密封結構和電拋光液表面確保出色的流程的完整性和幫助省去了連續(xù)監(jiān)測和氣體壓力的調整提供穩(wěn)定的氣流量提高整體處理效率。

特征
每年<0.2％滿量程長期零點穩(wěn)定性
<3秒建立時間命令可以忽略不計沖/下沖的變化
流量范圍寬 - 從3 SCCM高達30,000 SLPM
高壓力等級 - 高達1500磅
可選的增強過程內部完成 - 5μ英寸鐳平均
移動流量傳感器
不受安裝態(tài)度
機械地和與其他質量流量控制器電兼容
TTL兼容“閥門關”和清除功能
優(yōu)點
全金屬流動路徑增強了氣體純度，并減少泄漏
成熟的長期穩(wěn)定性和準確性跨越廣泛的流程和應用范圍
投資由于性能可靠的優(yōu)異回報
移動流量傳感器消除需要的氣體壓力的連續(xù)監(jiān)測和調整
易于安裝和使用僅限于模擬輸入/輸出服務
應用
光纖
LED / MOCVD
半導體
太陽的
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。
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