美國Brooks Instruments高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH特點優(yōu)勢

美國Brooks Instruments高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH特點優(yōu)勢
高溫熱質(zhì)量流量控制器和儀表
具有挑戰(zhàn)性的高溫應用的很高純度的流動路徑。
當今許多先進的電子器件制造工藝的要求非常準確和高度可重復的測量和昂貴的超純氣體和液體前體的控制。布魯克斯儀器符合我們的高溫金屬封閉熱質(zhì)量流量控制器和儀表這些需求。精確的化學控制是通過超穩(wěn)定，高精度測量傳感器，快速精密控制閥和強大的數(shù)字電子產(chǎn)品的組合來實現(xiàn)。工藝化學純度是由我們的高完整性（漏緊）保證，超高純度，全金屬潤濕流路，旨在保持外污染物，如水分和氧氣從破壞工藝介質(zhì)。

主要應用領(lǐng)域
光纖制造 - MCVD
硅半導體裝置的制造工序的
CVD（蒸氣形式前驅(qū)體傳輸）
條（水蒸氣）
蝕刻（鈍化水蒸氣）
5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器
成熟的長期穩(wěn)定性。超純性能用于高溫應用。
型號5850EMH / 5851EMH
提供的高溫氣體的測量和控制的先進的性能，布魯克斯儀器的5850EMH系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器具有多種選項，允許最大的應用靈活性結(jié)合了金屬密封件優(yōu)秀泄漏完整性。所述5850EMH系列的心臟是高度穩(wěn)定的傳感器，其提供了與流量的電輸出信號線性的。這個信號用于指示，而不需要一個自動置零電路的記錄和/或控制目的。
特征
高泄漏完整性（小于10-11 Pa.m3 /秒（10-10 atm.cc/s）他）
寬流量范圍（0.003 - 100 SLPM）
高純度的VAR 316L不銹鋼
顆粒無
氦氣泄漏檢查口
常閉閥（常開閥可選）
電致動控
低命令流量切除
TTL兼容“閥關(guān)”功能
優(yōu)點
穩(wěn)定，成熟的產(chǎn)品平臺
高流量能力可達100 LPM（N2當量）
全金屬流動路徑增強了氣體純度，并減少泄漏
易于安裝和使用僅限于模擬輸入/輸出服務
應用
光纖制造 - MCVD，OVD，AVD
水蒸氣流控制
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動化集成設(shè)計與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
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