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SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI

產(chǎn)品介紹

我們的超穩(wěn)定差分激光干涉儀SP 5000 DI具有獨(dú)特的熱穩(wěn)定性,因此是研發(fā)中長(zhǎng)期測(cè)量的選擇,例如用于材料性能分析。

與標(biāo)準(zhǔn)干涉儀不同,在差分型中,參考光束從傳感器頭引出,并平行于測(cè)量光束。這一概念允許將傳感器放置在離實(shí)際測(cè)量位置更大的距離處,而不會(huì)顯著影響測(cè)量的分辨率或穩(wěn)定性。該干涉儀的長(zhǎng)度分辨率在亞納米范圍內(nèi),并且由于微分原理,即使在正常的實(shí)驗(yàn)室條件下,也可以在類(lèi)似的測(cè)量或光束長(zhǎng)度下實(shí)現(xiàn)。

如果使用傾斜不變反射器進(jìn)行測(cè)量,則長(zhǎng)度測(cè)量的測(cè)量范圍可以是幾米。干涉測(cè)量系統(tǒng)具有模塊化設(shè)計(jì),并且因此可以適用于相應(yīng)的測(cè)量任務(wù)。

調(diào)整很簡(jiǎn)單,特別是可以長(zhǎng)期穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)。對(duì)基于SP 5000 DI干涉儀的干涉多軸系統(tǒng)的擴(kuò)展允許同時(shí)進(jìn)行多坐標(biāo)測(cè)量。

性能特點(diǎn)

  • 高精度的差動(dòng)長(zhǎng)度或角度測(cè)量
  • 通過(guò)差分測(cè)量更小化環(huán)境影響
  • 熱長(zhǎng)期穩(wěn)定傳感器,溫度靈敏度<20 nm/K
  • 可以使用各種光學(xué)反射器,例如球面、平面反射鏡反射器
  • 測(cè)量反射鏡的大傾角不變性
  • 標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼傳感器頭設(shè)計(jì)
  • 光束距離:21毫米
  • 廣泛的觸發(fā)器選項(xiàng)
  • Windows和Linux下OEM軟件的開(kāi)放接口

可選功能與配件

球反射器直徑15毫米

球形反射器單元

環(huán)境校正

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:德國(guó)

位移測(cè)量范圍:5 m

位移分辨率:5 pm

角度測(cè)量范圍

帶反射器:±12.5°

帶平面鏡(建議距離≤2m):±1.5弧分

光束距離(標(biāo)準(zhǔn)):21 mm

波長(zhǎng):632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性(預(yù)熱時(shí)間之后):2·10-8

HeNe激光器的預(yù)熱時(shí)間:10 ... 20 min

工作溫度范圍:15 ... 30°C

測(cè)量反射鏡的位移速度:max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長(zhǎng)度:3 m,max.10 m

電源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸(長(zhǎng)x寬x高)

傳感器頭(帶基板):150 x 140 x 43 mm

電子供應(yīng)和評(píng)估單元(標(biāo)準(zhǔn)):450 x 400 x 150 mm

電子供應(yīng)和評(píng)估單元(緊湊):250 x 400 x 150 mm

重量

感測(cè)頭:2.0 kg

底盤(pán):1.5 kg

產(chǎn)品應(yīng)用

差分激光干涉儀可作為OEM版本提供,可作為編碼器安裝在機(jī)器軸上。對(duì)于真空測(cè)量,SP 5000 DI可作為真空優(yōu)化版本提供。

標(biāo)準(zhǔn)光束距離為21毫米。我們可根據(jù)要求提供其他光束距離。

規(guī)格參數(shù)

位移測(cè)量范圍:5 m

位移分辨率:5 pm

角度測(cè)量范圍

帶反射器:±12.5°

帶平面鏡(建議距離≤2m):±1.5弧分

光束距離(標(biāo)準(zhǔn)):21 mm

波長(zhǎng):632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性(預(yù)熱時(shí)間之后):2·10-8

HeNe激光器的預(yù)熱時(shí)間:10 ... 20 min

工作溫度范圍:15 ... 30°C

測(cè)量反射鏡的位移速度:max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長(zhǎng)度:3 m,max.10 m

電源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸(長(zhǎng)x寬x高)

傳感器頭(帶基板):150 x 140 x 43 mm

電子供應(yīng)和評(píng)估單元(標(biāo)準(zhǔn)):450 x 400 x 150 mm

電子供應(yīng)和評(píng)估單元(緊湊):250 x 400 x 150 mm

重量

感測(cè)頭:2.0 kg

底盤(pán):1.5 kg


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