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產(chǎn)品介紹
CMP化學(xué)空氣過濾器對 22 nm 及以下波長的各種空氣分子污染物提供全面保護。保護工藝設(shè)備和晶圓免受空氣分子污染的破壞性影響。
性能特點
- 防止 22 nm 及以下的 AMC
- 針對酸性污染物的平衡介質(zhì)混合
- 去除關(guān)鍵的酸、堿和有機物以降低污染風(fēng)險
技術(shù)參數(shù)
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
