ENTEGRIS濃度監(jiān)測(cè)儀InVue CR288

帶有 288-connect軟件包的 InVue CR288 濃度監(jiān)測(cè)器可提供使用點(diǎn)化學(xué)品/混合混合、加標(biāo)和稀釋的實(shí)時(shí)信息，而不會(huì)干擾或中斷過(guò)程。 基于 PC 的圖形用戶界面和 LCD 顯示屏集成了數(shù)據(jù)收集、分析和現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)以及方便、可擴(kuò)展的數(shù)據(jù)界面和采集選項(xiàng)。 光學(xué)系統(tǒng)計(jì)算實(shí)時(shí)濃度和溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)，所有這些都是為了提高生產(chǎn)率。CR288 濃度監(jiān)測(cè)器采用創(chuàng)新的折射率技術(shù)，采用緊湊靈活的配置。該測(cè)量基于過(guò)程流體中光的折射，從而產(chǎn)生了一種準(zhǔn)確和可重復(fù)的液體濃度測(cè)量方法。在線傳感器準(zhǔn)確地測(cè)量折射率和過(guò)程流體的溫度。該信息通過(guò)互連電纜傳輸?shù)竭h(yuǎn)程數(shù)字顯示單元 (DDU)。 DDU 使用此信息以及用戶定義的特性來(lái)計(jì)算過(guò)程流體的濃度。 DDU 在液晶顯示屏 (LCD) 屏幕上顯示折射率、溫度和濃度。它還輸出 4 至 20 mA 和 RS-232 信號(hào)，可用作過(guò)程控制器的輸入。

通過(guò)折射率 (IoR)，這款具有成本效益的高性能濃度監(jiān)測(cè)器可提高監(jiān)測(cè) BEOL、FEOL 和次晶圓廠化學(xué)品混合和輸送系統(tǒng)的工藝效率

該裝置占地面積小，可方便地直接安裝在工藝化學(xué)品中