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BOC EDWARDS低溫泵ON-BOARD IS 320FX

產(chǎn)品介紹

On-Board IS 320FX 低溫泵專為應(yīng)對當今離子注入工藝的挑戰(zhàn)而開發(fā),可提供更高的氫氣泵送速度和容量,同時保持您對 On-Board的所有質(zhì)量、性能和可靠性優(yōu)勢 IS 320FE 低溫泵。On-Board IS 320FX 低溫泵旨在提供高的氫氣真空抽速和容量,以提高產(chǎn)品產(chǎn)量和工具產(chǎn)量。 基于 Edwards 廣泛的低溫泵設(shè)計知識,該低溫泵優(yōu)于所有其他同等尺寸的泵,同時符合嚴格的準則。智能系統(tǒng)控制提供更好的工藝質(zhì)量、真空一致性和正常運行時間,同時提供實時系統(tǒng)知識以優(yōu)化電機速度和低溫溫度。針對不斷變化的熱/氣體負載條件的自動調(diào)整增強了真空一致性并縮短了晶圓間的恢復時間。On Board IS 320FX 還可以針對工藝相關(guān)涂層的堆積進行調(diào)整,而不會影響可靠性或生產(chǎn)力。 

性能特點

  • 專為離子注入應(yīng)用而設(shè)計
  • 智能自調(diào)節(jié)技術(shù)
  • 擁有成本更低
  • 增加正常運行時間

技術(shù)參數(shù)

  • 氫氣容量:30L /40L
  • 分頻器:300 Torr-L
  • ISO 真空法蘭內(nèi)徑:12.6 英寸(320 毫米)

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