美國(guó)布魯克斯Brooks Instruments質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

美國(guó)布魯克斯Brooks Instruments質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)
流量范圍（滿量程容量）
3 SCCM - 5 SLM（N2當(dāng)量）

壓力瞬變不敏感
<1％S.P.長(zhǎng)達(dá)5磅/秒的上游按下。穗

準(zhǔn)確性
±1％S.P. 10-100％F.S.

±1％S.P.加上±0.04％F.S. 2-10％F.S.‘

重復(fù)性<±0.15％S.P.
線性度
包括在精度

響應(yīng)時(shí)間
<300毫秒（<860 SCCM N2當(dāng)量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當(dāng)量）

（到±2％以內(nèi)，F(xiàn)S）

<300毫秒（<860 SCCM N2當(dāng)量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當(dāng)量）

（到±2％以內(nèi)，F(xiàn)S）

<300毫秒（<860 SCCM N2當(dāng)量）

<400毫秒（861-5000 SCCM N2當(dāng)量）

（到±2％以內(nèi)，F(xiàn)S）

多氣體和范圍可配置
-

控制范圍
1 - 100％

閥門關(guān)閉
<F.S. 0.5％ N2

零點(diǎn)穩(wěn)定性<±0.5％F.S.每年
流量溫度系數(shù)
跨度：0.05％S.P./°C

零：0.005％F.S./°C

機(jī)械
密封材料
金屬

純度/表面處理4μ英寸鐳水平
接液材料
SEMI F20 HP標(biāo)準(zhǔn)

316L VIM / VAR

哈氏合金C-22

316L不銹鋼

304不銹鋼

KM-45

閥選
常閉

評(píng)級(jí)
很高溫度
50℃

差壓量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID

861 - 5000 SCCM = 10-45 PSID

*典型壓降。聯(lián)系方式布魯克斯技術(shù)支持以獲取更多信息。

最大壓力
100 PSIA最大

泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能可用

狀態(tài)指示燈
MFC健康

網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)

警報(bào)
傳感器輸出，控制閥輸出，超溫，防浪涌電源/凹陷，網(wǎng)絡(luò)中斷，傳感器漂移，流錯(cuò)誤，閥門泄漏

診斷/服務(wù)端口
通過(guò)2.5毫米接口RS485

顯示
頂部安裝電子旋轉(zhuǎn)的整合LCD

可視角度：固定

視距：10英尺

單位顯示：流量（％），溫度（℃），壓力（PSIA，千帕）

分辨率：0.1（單位）

電動(dòng)
模擬通信
0-5伏

數(shù)字通信
的DeviceNet?

RS485

電氣連接
模擬/ RS485通過(guò)9針“D”連接器

的DeviceNet?通過(guò)5針“M12”連接器

電源/功耗
模擬/ RS485：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）

的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流電

（在典型的操作條件下）

合規(guī)
EMC
EC指令2004/108 / EC

CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE測(cè)試）

環(huán)境合規(guī)性
RoHS指令（2011/65/2006）

REACH指令EC 1907/2006

美國(guó)布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測(cè)量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測(cè)量產(chǎn)品。

上海連航機(jī)電科技有限公司是國(guó)內(nèi)專業(yè)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國(guó)工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機(jī)、 ABB電容電橋測(cè)試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來(lái)電咨詢。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，保障全產(chǎn)業(yè)鏈一體化工業(yè)服務(wù)水平，連航分別在德國(guó)和美國(guó)設(shè)有公司和倉(cāng)儲(chǔ)中心，自此建立了對(duì)歐美先進(jìn)工業(yè)品與工業(yè)技術(shù)大規(guī)模引進(jìn)的高速通道。憑借的全球采購(gòu)能力和工廠直采加產(chǎn)品集散帶來(lái)的二度成本壓縮，連航擴(kuò)大了在業(yè)內(nèi)的先進(jìn)優(yōu)勢(shì)，終端服務(wù)效率與水平與日俱增。